Fiziksel istifleme gaz fazı yöntemi, PVD kaplamaları, iyonlaştırma hızı yüksektir, iyon kaplama, iyon kaplama, birikim oranı hızlıdır, birikim kalitesi hızlıdır ve yüksek film temelli kalitesi için kullanıldığında, PVD kaplamaların hazırlanması için ana akım yöntemidir. Bununla birlikte, bu PVD kaplama, kaba kaplama görünümü, gözeneklilik ilavesi ve müşterilerin kullanımını etkileyen kararsız kaplama fonksiyonu gibi sorunlara yol açan büyük parçacık kirliliğine sahiptir. Büyük parçacıklarla PVD kaplamanın nasıl iyileştirileceği aşağıda açıklanmıştır.
1. Nadir toprak elemanlarının tanıtımı
İyon kaplama parçacıklarını azaltmak ve kaplamaların ince yoğunluğunu artırmak ve nadir toprak modifikasyon mekanizması yoluyla kaplamaların fiziksel ve mekanik özelliklerini ve yüksek sıcaklık özelliklerini iyileştirmek için katot hedeflerine ve PVD kaplamalara nadir elementlerin sokulması açıktır. Nadir toprak CE'nin damlacıkların azaltılması üzerinde bariz bir etkisi vardır ve nadir toprak tarafından değiştirilen PVD kaplamanın sadece küçük bir damlacık yoğunluğuna sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda daha az büyük damlacıklara sahiptir. Nadir toprak CE'nin kaplama parçacık koşulunun iyileştirilmesinin nedeni, nadir toprak ilerleme hedeflerinin metalurjik kalitesi ile doğrudan ilişkili olmalıdır.
Yaygın olarak kullanılan nadir toprak elemanları, CE'nin metal malzeme niteliklerinin gazetlenmesi, desülfürleştirilmesi ve sertleştirilmesi için metalurjik sürecidir. Malzemenin metalurji kalitesi ve işlevselliği, uygun seyreltik eleman CE'nin hedefe verilmesi ile artırılabilir. Çok az gözenek, homojen bileşim ve yüksek kaliteli hedef malzemenin ince taneleri, katottan üretilen parçacıkları rafine etmeye yardımcı olur. Kapalı gözeneklerde yüksek sıcaklıkta ani genişlemesi ile üretilen yüksek basınçtan kaynaklanan katot ark spot mikromelt havuz bölgesinde malzeme parçalanması ve sıçraması olasılığını düşürebilir. Kısmi elektrik alanlarından veya termoelastik stresden kaynaklanan zayıf bağlı malzemelerin çöküşünden ve uçurumundan kaçınarak veya hafifleterek, hedef düzenleme büyük parçacıkların oluşumunu düşürmeye yardımcı olabilir. CE dışında, Y veya LA gibi nadir toprak elemanlarının karşılaştırılabilir etkisi vardır.
2. Yeni elektromanyetik sistem
Bu beceri, geliştirilmiş katot hedeflerinin ve plazma optiklerinin tasarımı ile düşünülmüştür. Fikir, özel bir elektromanyetik bobin ve belirli bir yapıya sahip kalıcı bir mıknatıs da dahil olmak üzere hedefin içinde ve dışında yeni bir manyetik alan yapısı tasarlamaktır, böylece katot arc noktasının koşu izini kontrol etmek ve düzenlemek için katot hedefinde kemerli bir manyetik alan sistemi oluşturmak, hareket hızını hızlandırmak ve hedef yüzeydeki arc noktasının rezidans süresini azaltmak.
3. Cihaza bir bölme ekleyin
Analiz, büyük parçacıkların baskın dağılımının bölgede 60 derecelik bir açıda ark hedefinin yüzeyine olduğunu ortaya koymaktadır; Bu nedenle, büyük parçacık film katmanının kirlilik seviyesini düşürmek için ark hedefinin önüne bir bölme yerleştirilebilir. Büyük partiküllerin büyüklüğü 2 μm'den daha küçük olsa da, büyük partiküllerin yoğunluğu 2.3 x 105\/mm2'den bölme olmadan 1.4 x 103\/mm2'ye düştü. Ancak bölme yerleştirildikten sonra, PVD kaplamanın amacı birikim oranını düşürmenin yanı sıra acı çeker.
4. İçi boş katot becerileri
Arc iyon kaplama istifleme PVD kaplamasında, hazır kaplamanın büyük partikül boyutunu azaltmak için içi boş katot tarafından yayılan elektron ışını eklenir, ancak bu yöntem geleneksel iyon kaplama ekipmanına içi boş bir katot cihazı eklenmesini gerektirir.
5. ARC manyetik filtre
Büyük parçacıkları plazmadan ayırmak için ARC manyetik filtresini kullanarak plazmayı birikim odasına sokma yöntemi iyi bir etki yaratmıştır, ancak bu yöntemin birikim oranı sıradan ark iyon kaplamasından çok daha düşüktür.
Yukarıdakiler, PVD kaplamanın büyük parçacıklarını iyileştirme yönteminin tanıtımıdır, PVD kaplamanın hazırlanmasında, kaplama yüzeyi yapısının iyi, gözeneklilik düşük olmasını ve özelliklerin kararlı olmasını sağlamak için yukarıdaki beş yönteme başvurabilirsiniz, böylece kaplamanın kullanım etkisi daha iyi olacaktır.