Kaplama ürünleri çeşitli alanlarda yaygın olarak kullanılır, yaygın olarak kullanılan bir katı filmdir, koruma, yalıtım ve dekorasyon ve diğer amaçlar için kullanılabilir, hazırlık yöntemi esas olarak substrat malzemesinde metal veya metalik olmayan bileşikleri kaplamak için fiziksel birikim teknolojisinin veya kimyasal birikim teknolojisinin kullanılmasıdır, bir kaplama oluşturur. Bununla birlikte, kaplama üretimi, kaplamaların uygulanmasını etkileyen içsel stresler yaratır. Bu nedenle, stresin neden olduğu çeşitli arızalardan kaçınmak için kaplama yapısı içindeki stresi ortadan kaldırmak veya zayıflatmak için karşılık gelen önlemler almak gerekir.
1. Uygun alt tabakayı seçin
Aynı termal genleşme katsayısına sahip bir kaplama ve bir baz malzemesi seçmek, kişinin bir kaplamadaki termal stresi tamamen çıkarmasına yardımcı olacaktır. İkincisi, kaplamanın ölçüm veya uygulama sıcaklığını film oluşturma sıcaklığı ile eşleştirmektir. Ayrıca, sıcaklığın etkisi, filmin stresinin bir bileşeni olan termal stresi kolayca kontrol edilebilir hale getirir; Dolayısıyla, termal stres değişimi yoluyla içsel stresle etkileşim kurmak, filmin mikroskobik stresini arttırmaya yardımcı olur.
2. Termal tavlama tedavisi mi
Kaplamada bulunan çeşitli kusurlar, içsel stresin ana nedenleridir. Bu kusurlar genellikle doğru ve yanlış arasındaki dengenin kusurlarıdır, bu nedenle kendi başlarına kaybolma eğilimindedirler. Bununla birlikte, ortadan kaybolmak için dış dünyanın aktivasyon enerjisi ile başa çıkması gerekmektedir. Kaplama ısıl işlem gördüğünde, dış ısı enerjisi uygulanır ve birçok denge dışı kusur kaybolur, böylece kaplamanın iç gerilimi önemli ölçüde azalır.
3. Merkez kaplamayı ekleyin
Filmin stres özellikleri, birçok yüksek yansıma, yansıma veya diğer dielektrik filmlerin katmanlarını kaplama sürecinde aynıdır; Bu, tüm film katmanının stresini artıracak ve kırılma veya düşme kaplamaya yol açacaktır. Film katmanları arasında gerinim iptal konseptini kullanarak bir film katmanı birikir ve süreç, filmdeki yapısal kaplamaya karşı çıkan stres durumunu üretmek için kontrol edilir, böylece stresin neden olduğu hasarı azaltır.
Ek olarak, matrisin ve kaplamanın malzeme özellikleri çok farklı olduğunda, yani arayüz özellikleri tutarsızdır, etkileşimleri büyüktür ve bu kuvvet iki malzemenin etkileşime girme eğilimi vardır, bu nedenle kaplama iç stres oluşturan büyük bir deformasyon üretir. Bu durumda, substratın yüzey işlemi önce gerçekleştirilebilir, yani, kaplama ve substrat yapısında geçiş rolü oynayan, yapının sürekliliğini koruyan ve daha sonra stresi azaltan yüzeyin ıslanabilirliğini arttırmak için alt katmanlar eklenebilir.
4. İşlem kriterlerini değiştirin
Kaplama birikimi sürecindeki işlem parametrelerinin değiştirilmesi, filmdeki artık stres seviyesini doğrudan etkileyecektir; Bu nedenle, filmdeki stresin boyutu, substrat sıcaklığı, çalışma hava basıncı ve kaplama sırasında birikim hızı dahil olmak üzere işlem parametrelerinin değiştirilmesi ile düzenlenebilir; Stresin doğası bile değiştirilecektir.
For example, for sputtering coating, with the increase of sputtering pressure in the reaction chamber, the concentration of high-energy ions (particles) increases, so that the gas molecules collide with each other, and then the energy of the gas molecules is reduced, the atomic shot peening effect is weakened, and the inclined component of the accumulated particle flow is increased, resulting in the loose membrane structure, and the compressive stress becomes smaller and Daha küçük, gerilme stresi haline gelir ve gerilme gerilimi önce artar ve sonra azalır.
5. İstifleme becerilerini geliştirin
Yığılmış atomların kinetik enerjisi de değişir ve arayüzey dispersiyon tabakası yapısının kusur konsantrasyonu ve film katmanı yapısı, RF kaynak gücünde varyasyon ile manyetron püskürtme istifleme kaplama işleminde değişir. Bu nedenle kaplamadaki artık gerilimler değişir.