DLC elmas benzeri kaplama, elmas ve grafitin yüksek kaliteli özelliklerine sahip olan ve iyi sertlik, termal iletkenlik, düşük sürtünme katsayısı, mükemmel elektriksel yalıtım performansı, yüksek kimyasal stabilite vb. DLC kaplama esas olarak fiziksel buhar faz birikim yöntemi ve kimyasal buhar faz birikim yöntemi ile hazırlanır ve özel birikim ekipmanı tarafından üretilir. Aşağıda, kaplama biriktirme ekipmanını oluşturan beş bölüme kısa bir giriş bulunmaktadır.
1. Isıtma ve su soğutma sistemi
Isıtma sistemi ve su soğutma sistemi birikim odası etrafına eşit olarak dağıtılır ve ısıtma sıcaklığı, hız ve su hacmi kontrol edilebilir ve ayarlanabilir ve karşılık gelen alarm cihazı takılır; Dönen sistem birikim odasının altında bulunur ve yalıtım seramikleri ile yalıtılır ve dönüş hızı kontrol edilebilir ve ayarlanabilir.
2. Vakum sistemi
Vakum sistemi, mekanik bir pompa, bir kök pompası, bir difüzyon pompası ve ilgili kontrol vanaları ve ölçüm elemanlarından oluşur, bu da işlem gereksinimlerine göre yüksek ve düşük vakum arasında serbestçe geçiş yapabilir.
3. Gaz tedarik sistemi
Gaz tedarik sistemi birikim odasının üstüne yerleştirilir ve gaz çeşitleri arasında H2, N2, AR, CHA, C2H2 ve Si içeren gaz bulunur ve gelecekte diğer gaz çeşitlerinin eklenmesini kolaylaştırmak için birikim odasının üstünde iki arayüz ayrılır.
Si içeren geçiş katmanını elde etmek için, SIH4 genellikle malzeme gazı olarak kullanılır, ancak SIH4 daha tehlikelidir, bu nedenle kaplama işlemindeki SI kaynağı olarak daha az tehlikeli Si içeren gazı seçiyoruz.
4. İstifleme hedef sistemi
Ekipman iki istifleme birimine sahiptir, PVD ve PCVD, PCVD ünitesinin birincil amacı elmas benzeri (DLC) birikimi içindir, seçilen güç kaynağı nabız modülasyonu güç kaynağıdır, parametreler parametrelerin ayarlanmasından sonra ayarlanabilir, farklı sertliğin dlc kaplamasının biriktirilmesi ve çalıştırılabilmesinden sonra, çalışabilir, işten sonra, çalışabilir, işlenebilir, işten sonra, çalışabilir, işten sonra, çalışabilir, işten sonra, çalışabilir ve işten sonra, Mod, karmaşık iş parçası üzerinde de kaplanabilir; PVD ünitesinin birincil niyetleri şunlardır: (1) Farklı substratlar için farklı hedefler farklı hedeflerle değiştirilebilir ve farklı yapışkan katmanlar veya farklı eleman çeşitleri içeren metal katkılı DLC kaplamaları geliştirilebilir; (2) Hedefin değiştirildikten sonra, farklı kategoriler için çeşitli kompozit "fonksiyonel katman + DLC" kaplamaları oluşturulabilir.
5. Elektrik kontrol sistemi
Elektrik kontrol sistemi, ana bilgisayar, PLC programlanabilir kontrolör, adaptasyon konvertör, kontrol gücü ve ölçüm sistemi, hava temini kontrol gücü, sıcaklık kontrol sistemi, soğutma suyu algılama kontrol gücü, vb. ve gerçek zamanlı olarak izlendi. Bir sorun varsa, cihaz inisiyatif alarmını alacak ve alarm seviyesine göre, cihaz "bekleme" koşulunu seçecek veya doğrudan duracak ve alarm ortadan kaldırıldıktan sonra çalışmaya devam edecektir. Her fırının işlem kayıtları ve alarm kayıtları kolay referans için bilgisayarda aktif olarak saklanır. Gereksinimlere göre, ekipman tamamen manuel çalışmaya değiştirilebilir ve kaplama parametreleri kaplama işlemi sırasında ana çalışma arayüzünde ayarlanabilir.